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实验现场
半导体企业定制高浓度臭氧发生检测系统
来源：www.ozonelab.cn 发布时间：2025-05-23 17:14:57 浏览次数：
单位名称：半导体企业
实验内容：ALD
臭氧机型：3S-B20

半导体企业定制高浓度臭氧发生检测系统

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 3S-B20臭氧输送系统，配置Apex H30 高浓度臭氧发生器，双光路紫外臭氧在线检测仪，质量流量计，泄露报警器等，独特的风冷设计，体积小、浓度高、稳定性好，是半导体ALD PLD CVD ALE MBE 等应用的不二选择。


半导体企业定制高浓度臭氧发生检测系统

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 3S-B20臭氧输送系统，配置Apex H30 高浓度臭氧发生器，双光路紫外臭氧在线检测仪，质量流量计，泄露报警器等，独特的风冷设计，体积小、浓度高、稳定性好，是半导体ALD PLD CVD ALE MBE 等应用的不二选择。


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