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半导体用进口高浓度臭氧水生成装置(MTK)  MTK-HT

型号:MTK-HT
品牌:MTK
臭氧浓度:臭氧水浓度高 最大30ppm
臭氧产量:氧气消耗量~16L/min.
使用气源:氧气源
产地:日本
冷却方式:水冷
设备尺寸:400*550*850mm
整机重量:20~100Kg
推荐指数:comment rank 5
购机说明:
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配件完善,安装如此简单
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实验现场

臭氧知识

参考文献

进口高浓度臭氧水生成装置(MTK)
 
参数
臭氧生成方式:无声放电法
将臭氧气体溶解于纯净水的方法:喷射方式
臭氧水中臭氧的浓度监测:紫外吸收法
臭氧水浓度:最高为30ppm
臭氧水流量:最高50L /min
设备尺寸:宽度400mm 深度550mm 高度850毫米(标准型)
重量:20 ~ 100Kg
消耗功率:~3KW
氧气压力:为0.1MPa(供给为0.3MPa)
氧气纯度:99.5%(指定)
氧气消耗量:~16L/min.
供应纯净水的压力:0.20Mpa以上(理想值0.25MPa)
供应纯净水的温度:低于25℃
臭氧气体生成部的冷却水温度:理想值为20℃以下。如无法实现,需根据情况增加冷却器(可选)。
CO2气体消耗量(臭氧浓度过高时需通过纯净水注入):大约100cc/min
半导体用进口高浓度臭氧水生成装置(MTK)
特点
臭氧水浓度高
(最大30ppm)
■臭氧水中无金属杂质
半导体,液晶,太阳能电池等洁净规格(臭氧水生成部由氟素树脂材料组成)
■臭氧浓度上升快
达到臭氧最大浓度仅需大约1分钟
■生成器体积小
长400mm。宽550mm。高820mm(标准规格)
 
用途
◯半导体(清洗)
◯FPD,液晶(清洗)
◯MEMS,传感器(清洁)
◯硬盘(清洗)
◯太阳能电池(清洁)
◯医疗(洗手,纯净水管道清洗)
◯食品(洗手,消毒,除臭)
 
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