3S-B50高纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平,它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。为了安全起见,本机具有足够的安全措施。
优势:
●超高纯臭氧制备●臭氧浓度高于99.5%●液化池容积限制设计●安全阀设计●急停设计
产品特点● 全金属密封臭氧液化池● 无硅胶吸附剂● 闭循环制冷机自动控温● 提纯速度快,准备时间只需30分钟;提纯1小时,能产出约4标升高纯臭氧气体,可满足大部分用户十小时以上的生长需求● 设计紧凑● 操作简便,即起即停● 高纯臭氧应用领域:化学气相沉积(CVD),原子层沉积(ALD),氧化物生长,表面处理,粒子清洁,光刻胶去除,灰化等。臭氧输出束流的稳定性和持续性特点
高效臭氧发生器
定时控制,到达预设工作时间,自动停止;
双水冷,高效散热;
气体传送和过滤系统
气体管道均使用耐臭氧的不锈钢和聚四氟乙烯材质;
阀门采用使用高纯气路用不锈钢球阀,针阀;
多级过滤装置,有效避免液化池被颗粒污染;
质量流量计与计量式针阀,双流量调节控制;
闭循环制冷提纯系统
闭循环制冷机,无需补充液氮或液氦;
制冷提纯区域,采用全金属高纯气路连接;
提纯过程中臭氧液化效率高于 80%;
催化型臭氧尾气处理系统
催化型臭氧处理器结构简单,效率高,无需加热和降温装置;
可直接安装于机械泵抽气口,使用简便;
监测和控制系统
电容真空规压力监测,耐臭氧腐蚀;
所有电子控制均集成于前面板,便于操作;
臭氧注入器
DN40CF 法兰接口,超高真空匹配;
耐臭氧管道将臭氧从提纯系统注入到生长腔中;
真空泵组
干泵;
真空管道以及配件;
洁净型高精度水冷机
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