七星气体质量流量计套件由质量流量计，流量显示器组成。量程范围广，从2SCCM~2000SLM可任意选择。产品应用质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量计连接图
气体质量流量计侧面图
气体质量流量计显示★高性能价格比★橡胶密封、模拟电路的MFC★管状分流，使用寿命长
产品型号 定制 产品类型 普通型,抗电磁干扰 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 产品精度 ±1.5％F.S. 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±1％F.S. 响应时间 ≤10sec 工作温度范围 (5~45)°C 耐压 3MPa 密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene 输入输出信号 (0~5)VDC 电源 ±15V 阀类型 常闭 温度系数 零点飘移指标 - 无 - 电气连接 D sub 15 pins Female 工作压差范围 (0.1～0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） 标准接头形式 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 表面化学成分 - 无 - 表面粗糙度 - 无 - 抗电磁干扰 CE 重量 1.1Kg
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